该专项是国家科技中长期发展规划“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”重大专项项目。专家组认为该校承担的项目各项技术指标达到世界前列。同时，该校项目团队被评为国家年度优秀团队，在承担此专项的138个团队中，仅有5个团队获此殊荣。自2009年获得国家第一期资助资金3265万元开始建设以来，该项目不仅顺利完成了各项任务指标，并且在多个方面取得了突破和创新，创建了国内首个化学机械平坦化研发中心，成为拥有近千平米超净实验室和超过千万元实验设备的材料超精密加工技术研发与人才培养创新平台；累计获得授权发明专利44项，其中国内发明专利41项，国际发明专利3项。（河北工业大学）
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