清华大学微电子所
全国微电子学领域首个重点学科点
清华大学微电子学研究所成立于1980年9月,第一任所长由全国著名半导体物理学家、中科院院士李志坚担任。该所是国家重点支持的北方微电子研究开发基地的主要组成单位,是高素质微纳电子科技人才的培养基地,1988年被定为全国微电子学领域第一个重点学科点。
【硬件环境】两条集成电路工艺加工线
【师资科研】器件和设计实力最强
清华大学微电子所主要分器件、工艺、设计和CAD四个研究方向。在这四个研究领域中,该所器件和设计实力最强,研究资金丰厚。
器件方向,主要强在理论,其研究方向包括新器件结构与模型、新材料与工艺、新概念与原理,其特点在于新材料和新器件方向结合、LIGA技术与传统IC方向结合、微纳米级器件设计与小尺寸器件模型建立相结合。微纳器件与系统研究室目前由任天令教授主管,研究方向包括MEMS、新型半导体存储技术、纳电子与自旋电子学和微纳电子技术新材料等。在MEMS研究方面,器件组是国内惟一重复出当年的静电微马达的科研单位。
工艺方向,包括了研究传统的CMOS工艺技术以及一些新型的工艺技术如数模混合工艺等等。其中的集成电路开发与工业性试验线由刘志弘教授任主任,该组的主要研究方向是:深亚微米集成电路制造、SiGe技术、非挥发性存储技术、POWER器件及集成电路,以及集成电路生产自动化控制等。
CAD技术研究室的主任为王燕教授,该组的主要研究方向有:极小尺寸MOS器件输运机理研究、纳米级量子、电子器件结构和理论分析、微/纳米级器件的CAD软件研究、微/纳米级新结构器件研究、建库方法学研究和用于SOC存储器类的IP核开发、射频(RF)电路版图设计的电路提取和验证,以及集成电路制造的计算机辅助管理系统(IC-CAM系统)研发等。
【招生信息】
责任编辑:虫虫